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質(zhì)量流量控制器由流量傳感器，分流器通道，流量調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部件組成，質(zhì)量流量計由流量傳感器，分離器通道和放大控制電路等部件組成。氣體流過質(zhì)量流量控制器（質(zhì)量流量計）時，一部分氣體通過流量傳感器。流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補(bǔ)償)，將檢測的流量信號送入電橋，電橋?qū)⒘髁啃盘栟D(zhuǎn)變成電信號，電信號經(jīng)放大器放大為0～5V，放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較, 再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與之配套的MT系列流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源, 3 位半數(shù)字電壓表, 設(shè)定電位器, 外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。MFC與流量顯示儀連接后的工作原理如圖3 所示: