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高純氣體廠家常用的高純氧氣的生產(chǎn)方法主要有空氣液化分離精餾法(簡(jiǎn)稱(chēng)空分法)、水電解法和變壓吸附法等。

空分法生產(chǎn)高純氧氣的工藝流程大體是：吸收空氣→二氧化碳吸收塔→壓縮機(jī)→冷卻器→干燥器→冷凍機(jī)→液化分離器→油分離器→氣體儲(chǔ)槽→氧氣壓縮機(jī)→氣體充裝。

生產(chǎn)的基本原理是將空氣液化后，利用空氣中各組份沸點(diǎn)的不同在液化分離器進(jìn)行分離精餾，制取高純氧氣。大型制氧機(jī)組的研究開(kāi)發(fā)投用，使得制氧能耗不斷降低，并易于同時(shí)生產(chǎn)多種空分產(chǎn)品(如氮?dú)狻鍤饧捌渌栊詺怏w等)。為了便于儲(chǔ)存和運(yùn)輸，經(jīng)液化分離器分離后的液氧，用泵輸入低溫液體儲(chǔ)槽，再經(jīng)槽車(chē)運(yùn)至各深冷液化永久氣體充裝站。液氮、液氬也采用此法儲(chǔ)存、運(yùn)輸。